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  • 掃描探針顯微鏡(SPM)是在樣品表面用微小的探針進行掃描,通過高倍率觀察三維形貌和局部物理特性的顯微鏡總稱。懸臂和樣品始終保持接觸,控制懸臂與樣品之間的相互作用保持一定狀态下,掃描樣品表面的模式。這是Z典型的AFM模式,可以得到目前Z高分辨率圖像。懸臂在諧振頻率附近震動。在懸臂震動的狀态下懸臂接近樣品時振幅會發生變化。
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